SS101Des plaquettes-Le niveau Distribution Machines et appareils
Pour le sous-remplissage sous forme de gaufre
SS101 est un système de distribution de niveau de gaufre très stable et précis qui a été développé sur la base des exigences du processus de remplissage RDL First WLP.
L'équipement répond aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs, peut être équipé d'un système automatique de chargement et de déchargement des plaquettes, et peut réaliser automatiquement des fonctions telles que la manutention des plaquettes,l' alignementIl est compatible avec les protocoles internationaux de communication par semi-conducteurs.Il est équipé d'une interface robot AMHS de chargement et de déchargement automatique pour correspondre à la
les exigences en matière de gestion de l'information et les tendances en matière de gestion sans pilote.
SS101 Mise en page du système
➀ Loadport & Foup
L'alignement
Station de numérisation de codes QR
¢ station de préchauffage
¢ station de dissipation de chaleur
Station de travail de la machine à distribuer GS600SWB Station de travail de la machine à distribuer
Module de manipulation du robot
Composition du système de distribution à niveau de gaufre SS101
GS600SW machine de distribution au niveau des plaquettes × 2
PC101 machine de chargement et de déchargement de plaquettes × 1
Champs d'application
RDL Première WLP
Application de la FCE
SS101 Flux d'exploitation de distribution au niveau des plaquettes
Caractéristiques et avantages
Prend en charge la distribution de galettes de 8/12 pouces.
Niveau 10 d'étanchéité à la poussière, répondant aux exigences environnementales des emballages de niveau wafer.
La protection contre les DSE répond aux normes internationales CEI et ANSI.
Dans l'ensemble du processus de rotation et de fonctionnement des plaquettes, la température est contrôlée avec précision et corrigée automatiquement pour répondre aux exigences du processus CUF tout en assurant la sécurité du produit.
La surveillance vidéo de l'ensemble du processus facilite le chiffre d'affaires des produits, l'observation du processus d'exploitation et le suivi et l'analyse des problèmes
Spécifications techniques
Système SS101
La machine de traitement des plaquettes PC101 (EFEM)
Champs d'application
RDL Première WLP, CUFApplication
Niveau de propreté
Propreté de la zone de travail
Classe 100 (atelier de classe 1000)
Classe 10 (atelier de classe 100)
Domaines d'application du produit
Support pour la taille de la gaufre
Les pièces d'un type ou d'un type de véhicule ne doivent pas être utilisées pour le transport de marchandises.
(Le modèle standard prend en charge uniquement les plaquettes de 12 pouces)
Support pour l'épaisseur de la gaufre
300 à 2550 μm
Plage maximale admissible de déformation de la gaufre
< 5 mm (selon le type de doigt de robot)
Poids maximal admissible de la plaque
600 g (selon le type de doigt robotisé)
Forme de cassette en gaufre
8 pouces Cassette ouverte, 12 pouces Foup (le modèle standard prend en charge les plaquettes de 12 pouces uniquement)
Les produits doivent être présentés dans un emballage de qualité supérieure.
Méthode de chargement et de déchargement
Port de chargement + robots
Pré-alignement de précision
Déviation de correction du centre ronde≤±0,1 mm; déviation de correction de l'angle≤±0,2 °
Lecteur de gaufres
Prend en charge les polices SEMI (surfaces plates ou concaves/convexes), les polices non SEMI
Plage de température de préchauffage
Température ambiante ~ 180°C
Méthode de refroidissement des plaquettes
Refroidissement naturel ou refroidissement par air
Système de distribution de mouvement
Mécanismes de transmission
X/Y: Moteur linéaire Z: Servo-moteur et module vis
Répétabilité
Le système d'échantillonnage doit être équipé d'un dispositif d'échantillonnage.
Précision de positionnement
X/Y: ± 10 μm
Max. vitesse de déplacement
Le système d'échantillonnage doit être équipé d'un dispositif d'échantillonnage.
Max. vitesse accélérée
X/Y: 1 g Z: 0,5 g
Système de vision
Pixels de la caméra
130 W
Précision de la reconnaissance
± 1 pixel
Plage de reconnaissance
12 × 16 mm
GS600DD Distributeur entièrement automatique
Pour le remplissage et le remplissage
La machine de distribution entièrement automatique GS600DD est un équipement de distribution de haute stabilité et de haute précision qui est développé sur la base des exigences du processus de remplissage et de remplissage de FCBGA, etc.L'équipement répond aux besoins de l'industrie des semi-conducteursIl est équipé d'un système de chargement et de déchargement automatique et peut réaliser automatiquement des fonctions de chargement et de déchargement de chargeurs, de décharge de colle et de décharge de colle.Il est compatible avec les protocoles internationaux de communication par semi-conducteurs., et correspond aux exigences en matière de gestion de l'information et aux tendances en matière de gestion sans pilote.
Composition du système
GS600DD distributeur entièrement automatique × 1 machine automatique de chargement et de déchargement de magazines × 1
Flux opérationnel
Chargement des chargeurs -Jets de colle de barrage-Jets de colle de sous-remplissage-Déchargement des chargeurs
Caractéristiques et avantages
Une bonne absorption des chocs avec une structure minérale pour réduire efficacement les chocs causés par le fonctionnement des équipements à grande vitesse.
Détection capacitive et détection par induction laser pour éviter la perte de produit due à une quantité insuffisante de colle
Niveau 10 d'étanchéité à la poussière, répondant aux exigences de l'environnement d'emballage.
Fonction de compensation automatique de la position de distribution pour assurer la précision de la distribution
La protection contre les DSE répond aux normes internationales CEI et ANSI.
Fonction de détection de la largeur de colle pour éviter les risques de processus causés par une mauvaise distribution.
Spécifications techniques
Modèle GS600DD
Composition du système
GS600DD * 1,Magazine machine automatique de chargement et de déchargement * 1
Champs d'application
FCBGA, encapsulation de liaison par fil
Niveau de propreté
Propreté de la zone de travail
Classe 100 (atelier de classe 1000) Classe 10 (atelier de classe 100)
Système de transmission
Les dimensions
770 × 1650 × 2100 mm
Système de transmission
X/Y:Moteur linéaire Z:Servo-moteur et module de vis
Répétabilité (3 sigma)
Le système d'échantillonnage doit être équipé d'un dispositif d'échantillonnage.
Précision de positionnement (3 sigma)
Le système d'échantillonnage doit être équipé d'un dispositif d'échantillonnage.
Max. vitesse de déplacement
Le système de freinage doit être équipé d'un dispositif de freinage.
Max. vitesse accélérée
X/Y:1.3g Z:0.5g
Plage de distribution
355 mm × 595 mm
Résolution de la grille
1 μm
Précision de correspondance visuelle répétitive
5 μm
Précision de la position en un seul point de l'adhésif
≤ ± 30 μ m
Méthode d'étalonnage et de compensation de la hauteur de l'axe Z
Capteur laser
Précision du capteur laser
± 1 μm
Spécifications de l'axe Z.
Dépannage à deux têtes
Type de seringue applicable
5cc, 10cc, 30cc, 50cc, 70cc
Précision du poids de colle
10 mg ± 3%, 5 mg ± 5%
Précision du module de pesage
220 g/0,1 mg
Module de vision
Pixel
Pour les appareils à commande numérique, la valeur maximale de l'éclairage doit être égale ou supérieure à:
Lentille
0.2X lentille télécentrique
Vue de la caméra
35 × 35 mm
Précision à un pixel
17um
Détection de la largeur de la colle
≥ 170um
Résultats de l'évaluation de la valeur ajoutée
< 2,5%
AOI FAR (taux de détection manquant)
0
Méthode de positionnement visuel
Caractéristiques de l'apparence de la marque/du produit
Capacité de correction d'angle de la soupape secondaire par rapport à la soupape principale
0 à 180° (7 × 7 mm)
0-3° (110 × 110 mm) Pièce de travail
Méthode de tir
Tir de positionnement/tir à la volée
Les installations
Température ambiante et humidité
25 ° C ± 5 ° C, 30 ~ 70%
L'empreinte W × D × H
770×1650×2100 mm (avec ou sans chargement et déchargement)
GS600SU Ne pas remplir suffisamment Disponibleépreuve Machines et appareils
Pour la forme sous rempli
GS600 SU est un système de distribution en ligne automatique à grande vitesse et haute précision qui est développé sur la base des exigences du processus Underfill de FCBGA/FCCSP.
Le système contrôle strictement la température du produit et de l'adhésif et triera intelligemment la séquence d'opération du produit et le temps de remplissage de la colle,réduire la production de vides et assurer le rendement de l'exploitationEn même temps, il est compatible avec les protocoles internationaux de communication par semi-conducteurs et répond aux exigences de gestion de l'information.
■ les projets de rechercheChamps d'application
FCBGA Emballage CUF Application FCCSP Emballage CUF Application SiP Emballage CUF Application
■ Les spécifications techniques
Champs d'application
Les produits de base doivent être présentés dans le cadre d'une procédure de certification.
Procédure applicable
Remplissage insuffisant du formulaire
Niveau de propreté
Propreté de la zone de travail
Classe 100 (atelier de classe 1000)
Classe 10 (atelier de classe 100)
Transmission
Mécanisme
Système de transmission
X/Y:Moteur linéaire Z: Servo-moteur et module de vis
Répétabilité (3 sigma)
Le nombre de points de contrôle doit être supérieur ou égal à:
Précision de positionnement (3 sigma)
Le système d'échantillonnage doit être équipé d'un dispositif d'échantillonnage.
Max. vitesse de déplacement
Pour les véhicules à moteur à combustion
Z: 500 mm/s
Max. vitesse accélérée
X/Y: 1 g, Z: 0,5 g
Résolution de la grille
1 μm
Plage de mouvement de l'axe Z ((W × D)
3 5 0 mm × 4 7 0 mm
Méthode d'étalonnage et de compensation de la hauteur de l'axe Z
Capteur laser (capteur laser)
Précision du capteur laser
2 μm
Système de distribution
Précision du contrôle de la colle
± 3 % / 1 mg
Répétabilité de la position en point unique CPK>1.0
± 25 μm
Diamètre min. de la buse
30 μm
Min. poids de la colle à un seul point
0,001 mg/pointe
Viscosité maximale du fluide
200000 cps
Fréquence maximale de jet
1000 Hz
Température de chauffage du coureur/buse
Température ambiante ~ 200°C
Déviation de la température de chauffage du coureur/de la buse
± 2 °C
Spécification de l'emballage adhésif applicable.
Le nombre d'émissions de CO2 est déterminé par la méthode suivante:
Plage de refroidissement de la seringue
Il refroidit à 15°C en dessous de la température ambiante.
Plage de refroidissement en piezo
Il refroidit à la température de l'air comprimé.
Système de voie
Nombre de voies
2
Nombre de sections de ceinture
Une seule pièce.
Vitesse maximale de transmission sur voie
300 mm/s
Poids maximal de la transmission de voie
3 kg ou plus
Dégagement minimal des bords
3 mm
Plage de réglage de la largeur de voie
60 mm à 162 mm réglable
Méthode de réglage de la largeur de voie
Le manuel
Hauteur de voie
910 mm à 960 mm réglable
Épaisseur maximale du substrat/du support applicable
6 mm
Plage de longueur du substrat/du support applicable
60 mm à 325 mm
Plage de pression d'aspiration sous vide
-50 à 80 Kpa réglable
Plage de température de chauffage inférieure
Température ambiante ~ 180°C
Déviation de la température de chauffage inférieure
≤ ± 1,5 °C
Les installations
Empreinte W × D × H
2380mm*1550mm*2080mm ((chargement et déchargement et affichage inclus)
2380mm*1200mm*2080mm ((Téléchargement inclus, affichage exclu)
Le poids
- 1 600 kg
Énergie électrique
L'alimentation électrique à tension d'adaptation à phase unique
Courant électrique
30A
Le pouvoir
6.4 kW
Inhalez
(0,5 MPa, 450 L/min) ×2
FCBGA Application de la CUF pour les emballages
Application de la CUF pour les emballages FCCSP
Application de l'étiquette CUF pour les emballages SiP
Modules de processus spéciaux
Système de jet piezoélectrique spécial CUFIsolement adhésif + contrôle en boucle fermée de la température céramique piézoélectrique pour éviter l'instabilité du système causée par l'influence de la température
Triple alarme de bas niveauDétection capacitive + détection magnétique + système de pesée pour éviter un mauvais fonctionnement dû à un manque de colle
Appareil de chauffage par adsorption sous videLa différence de température de l'ensemble de la surface du luminaire est ≤ ± 1,5°C,et la température est surveillée et compensée en temps réel pour éviter un mauvais fonctionnement causé par une variation de la température du produit pendant le fonctionnement
Trace à appuyer vers le basL'appareil d'adsorption sous vide reste toujours immobile et la voie se déplace vers le haut et vers le bas pour éviter un mauvais fonctionnement causé par une perte de planéité lors du mouvement réciproque de l'appareil d'adsorption sous vide.
Système de chargement et de déchargement de type plateformeLa séquence d'alimentation est triée automatiquement, et l'opération est terminée dans le délai de plasmaConception d'une interface homme-machine conviviale
Système visuelFonctions de positionnement et de détectionInspection avant utilisation pour éviter les matériaux entrants défectueuxInspection après utilisation pour prévenir les défauts du lot
SS200 Couvercle - Une pièce jointe. Système
Il s'agit d'un système de fixation de couvercle très stable et précis développé sur la base des exigences de processus de fixation de couvercle de FCBGA/FCCSP.
L'intégration des fonctions de chargement et de déchargement automatiques, de distribution, d'attachement du couvercle, de snapcure et d'inspection de distribution et d'attachement,Le système peut réaliser automatiquement des fonctions telles que le chargement et le déchargement automatiques des substrats et des couvercles., revêtement automatique de colle AD & Tim, détection de la forme de la colle, fixation du couvercle et détection du résultat de fixation, tenue de la pression du couvercle et précurage.Il est compatible avec les protocoles internationaux de communication par semi-conducteurs., et répond aux exigences pertinentes des lignes de production automatisées.
Composition du système de fonctionnement entièrement automatique
La machine de chargement KLM201
La machine à distribuer le GS600SD
¢ AS1 0 0 machine de montage
¢ pressage à chaud MP200
¢ KUM2 0 1 machine de déchargement
* Les machines de ce système sont modulaires.
* La séquence ou la quantité de la machine de distribution, montée
la machine et la machine de pressage à chaud peuvent être réglées selon
les exigences en matière de séquence de processus et de ratio d'efficacité.
Caractéristiques et avantages
Une bonne absorption des chocs avec une structure minérale pour réduire efficacement les chocs causés par un fonctionnement à grande vitesse.
La protection contre les DSE répond aux normes internationales CEI et ANSI.
Fonction de compensation automatique de la position de distribution pour assurer la précision de la distribution.
Conception modulaire de l'ensemble de la machine, et fonctionnement de distribution prenant en charge la synchronisation à double vanne avec interpolation/asynchronisation à double vanne.
Le niveau 10 d'étanchéité à la poussière répond aux exigences de l'industrie de l'emballage avancé.
Fonction de détection de la largeur de colle pour éviter les risques de processus causés par une mauvaise distribution.
Fonction d'inspection correspondante pour assurer la qualité du produit après l'achèvement de chaque étape du processus.
Système de chargement de type plateforme pour le fonctionnement continu de plusieurs chargeurs.
SS200 Champs d'application
Champs d'application
Application de fixation du couvercle FCBGA / FCCSP (y compris la colle AD, la colle Tim, la colle du couvercle, Snapcure)
Taille PKG appropriée
5 mm × 5 mm- 110 mm × 110 mm
Le bateau est grand.
L × W ≤ 325 mm × 162 mm
Max, le bateau est prêt.
3 kg (poids du produit inclus)
Taille max.
L × W × H≤ 330 mm × 165 mm × 180 mm
Le couvercle du plateau.
L × W ≤ 3 1 6 mm × 135 mm
Méthode de chargement du couvercle
Pour les appareils de traitement de l'air, le système de charge doit être équipé d'un système de charge de l'air (ou de l'air) et d'un système de charge de l'air.
SS200 Les installations publiques
Température ambiante et humidité 25°C ± 5°C, 30 ~ 70%
L'empreinte W × D × H
5870 mm × 1650 mm × 2100 mm
Poids du système
5.8T
Énergie
200 à 240 VAC, 47 à 63 Hz, alimentation adaptative à tension unique
Courant électrique
Le numéro d'immatriculation
Le pouvoir
18 kW
Inhalez
1770 L/min
Module de chargement et de déchargement KLM/KUM201
KLM/ KUM201Téléchargeur et téléchargeur
Taille
1 2 0 0 mm × 6 1 5 mm × 2 0 14 mm
FM Nettoyage et quarantaine
Douche de rideau d'air ionique à l'entrée
Le bateau Qty.
3 pièces
Mode de chargement
Type de plateforme
Répétabilité (sigma 3)
Z/Y: < 0,05 mm
Max. vitesse de déplacement
Z/Y: 300 mm/s
Max. vitesse accélérée.
Z/Y: 3000 mm/s2
Protection des produits
1Dans l'état de fonctionnement normal ou en cas de panne de courant temporaire de la machine, l'axe de mouvement reste en place pour empêcher la chute du produit.
2. Équipé de lumières de différentes couleurs visualisant l'état du plateau 3. Capable de détecter le plateau qui sort du bateau, puis d'arrêter et d'alarmer 4. Capable de détecter et d'alarmer le blocage du matériau
5Capable de détecter et d'alarmer la position de fonctionnement anormale du plateau